“对,各向同性。”
各向同性,也就是腐蚀剂在侵蚀材料的过程中,不会因为方向不同而有所变化。向下侵蚀的同时,腐蚀剂也会向左右侵蚀。在蚀刻中如果各向异性太好,就会发生把光刻胶遮挡的部分,从左右两侧给侵蚀掉的问题。本来不需要侵蚀的部分也会被侵蚀,自然精度就无法保证了。
吴牧说到这里,忽然眼睛里多出了一丝神采:“但是你还记得,我们湿法蚀刻如果失败了,最终被光刻胶遮挡的部分,会形成什么样的形状吗?”
响鼓不用重锤,钟大华的脑海里迅速回想起自己经历过的那些失败实验。
各向同性的腐蚀剂向左右侵蚀,最终会在侧面侵蚀出一个坡型,就像一个小水洼一样。
想象一下如果一条光刻胶下面左右有两个“小水洼”,那它们的中间位置不就是一个针尖了吗?
吴牧兴奋的说道:“如果我们用氢氟酸和硝酸来腐蚀单晶硅,因为这种腐蚀剂的腐蚀速度可以用配比来控制,所以我们就可以通过配比和时间控制,来得到我们希望得到的针尖宽度了!”
“这!”
钟大华呼吸顿时急促起来,他的预感中这应该会是一条可行的路线!
“只是,为了确定腐蚀剂的配比和精确的时间,我们恐怕要大海捞针了!”